機械の研究 / 2018年1月1日発売 / 第70巻 第1号
雑誌紹介
- 本誌「機械の研究」は、1949年(昭和24年)、それまでの
- 機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
- 械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
- の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
- 研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
- 究成果を平易に解説しています。
巻頭記事「次世代半導体リソグラフィの現状と展望」
- 次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社の
シニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。
次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。
(東芝メモリ株式会社)東木達彦
版型
- B5
展望・総説・解説
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