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目次
１章 センサ概論
２章 マイクロマシーニング技術
３章 光センサ
４章 機械量センサ
５章 流体センサ
６章 磁気センサ
７章 温度センサ
８章 化学センサ
９章 信号処理
Ａｐｐｅｎｄｉｘ 定数表
著者等紹介
室英夫［ムロヒデオ］
１９７６年東京大学工学部電子工学科卒業、１９７８年東京大学大学院工学研究科修士課程修了、１９９７年東京大学より博士（工学）の学位取得。１９８１年より日産自動車（株）中央研究所で半導体センサの研究開発に従事。２００６年より千葉工業大学教授
藍光郎［アイミツオ］
１９５８年、（株）日立製作所入社。同社那珂工場計器設計部部長。同社研究開発本部研究開発推進センタ副技師長同社センサ技術委員会委員長（日立グループの統括）。１９８９年、（株）超伝導センサ研究所代表取締役専務。１９９１年、（社）日本技術士会理事、副会長。１９９６年、ＪＩＣＡマレーシア・計量標準移転プロジェクトリーダー。現在、次世代センサ協議会会長、センサ工学研究所代表（技術士事務所）。工学博士、技術士（機械部門）、一般計量士
石垣武夫［イシガキタケオ］
１９６８年、早稲田大学大学院理工学研究科応用物理学専攻修士課程修了。同年より松下電器産業（株）、松下技研（株）を経て、１９９８年、環境庁衛星センサ開発プロジェクトアシスタントプロジェクトリーダー。２００５年、環境保全功労者表彰。現在、エステック代表、日本赤外線学会理事・編集委員、次世代センサ協議会理事・調査委員長
石森義雄［イシモリヨシオ］
１９８２年東京工業大学大学院総合理工学研究科博士課程修了（工博）。同年より、（株）東芝・研究開発センターに勤務。化学材料研究所、基礎研究所、環境技術ラボラトリーなどを経て、技術管理部に転籍。２００８年より科学技術振興機構・研究開発戦略センターに出向中。注目発明表彰、日経ＢＰ技術賞などを受賞。専門はバイオセンサ（医療、環境用）。工学博士、技術士（生物工学部門）、第一種公害防止管理者（水質および大気）
岡山努［オカヤマツトム］
１９６９年東京大学工学部物理学工学科卒業、工学博士、技術士（電気・電子）、労働安全コンサルタント（電気安全）、一般計量士。日立製作所那珂工場、日立茨城工業専門学院、日立ハイテクサイエンスシステムズを経て、現在、岡山技術士事務所所長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
