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はじめての半導体ドライエッチング技 改訂 / 野尻 一男 著
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「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング(ALE)など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行った改訂版の書籍です。<br>野尻 一男 著
技術評論社
2020年11月
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